工作在微波波段（頻率為300～300000兆赫）的器件，稱為微波器件。微波器件按其功能可分為微波振蕩器（微波源）、功率放大器、混頻器、檢波器、微波天線、微波傳輸線等。通過電路設計，可將這些器件組合成各種有特定功能的微波電路，例如，利用這些器件組裝成發射機、接收機、天線系統、顯示器等，用于雷達、電子戰系統和通信系統等電子裝備。
 

        微波器件按其工作原理和所用材料、工藝不同，又可分為微波電真空器件、微波半導體器件、微波集成電路（固態器件）和微波功率模塊。
 

       微波電真空器件包括速調管、行波管、磁控管、返波管、回旋管、虛陰極振蕩器等，利用電子在真空中運動及與外圍電路相互作用產生振蕩、放大、混頻等各種功能。微波半導體器件包括微波晶體管和微波二極管，具有體積小、重量輕、可*性好、耗電省等優點，但在高頻、大功率情況下，不能完全取代電真空器件。
 

       微波集成電路是將具有微波功能的電路用半導體工藝制作在砷化鎵或其他半導體材料芯片上，形成功能塊，在固態相控陣雷達、電子對抗設備、導彈電子設備、微波通信系統和超高速計算機中，有著廣闊的應用前景。微波功率模塊是通過采用固態功率合成技術，將多個固態微波功率器件組合形成的器件，具有效率高、使用方便等優點，對雷達、通信、電子對抗等電子裝備實現全固態化有重要意義。微波振蕩器（微波源）是微波系統中的重要器件，是電子裝備的心臟，對其性能有直接影響。例如，在高功率微波武器系統中，高功率微波振蕩器決定其殺傷效能；在雷達系統中，微波振蕩器決定雷達的作用距離。微波振蕩器將進一步向高功率、高效能、小型化、耗電省、成本低的方向發展。